高精密機床

高精密機床是為了實現較高精度的切削運動，高精密加工機床的運動控制普遍采用較別的功能部件。  

在導軌和軸承方面，由于高精度加工需要實現高精度和平穩的定位運動、軌跡運動和微小距離運動，因此高精度加工機床采用靜壓絲杠和靜壓導軌較為常見。此外，高精密加工機床的電主軸也可采取動壓或靜承的方案，以同時實現支承和冷卻功能，并提高主軸的剛度和阻尼性能。  

在位置控制方面，由于精密測量是控制高精度加工的前提，要保證機床的運動達到需要的精度級別，其電子尺的測量精度須要高1~2個數量級。

目前高精度加工機床一般采用分辨率達0.05~0.1μm的玻璃光柵。  

機床的加工精度、光潔度和刀具壽命與機床的剛性成正比，因此高精度加工機床尤其重視床身的設計和材料選擇。

超精密機床  

超精密機床加工是指尺寸精度在100nm以內的加工技術。隨著航空航天、精密儀器、光學和激光技術的迅速發展，以及人造衛星姿態控制和遙測器件、光刻和硅片加工設備等各種高精度平面、曲面和復雜形狀零件的加工需求日益迫切，超精密加工的應用范圍日益擴大。它的特點是可以直接加工出具有納米級表面光潔度和亞微米級形面精度的表面，借以實現各種優化的、高成像質量的光學系統，并促使光學電子設備的小型化、陣列化和集成化。  

近年來，超精密加工開始從高技術裝備制造領域走向消費品生產領域。應用的是各種電子產品中的塑料成像鏡頭，如手機和數碼相機鏡頭、光盤讀取鏡頭、人工晶體等。同時，也開始用于各種自由曲面光學零件、微透鏡陣列、漸進式鏡片、菲涅爾透鏡、微溝槽陣列等各種光束處理鏡片的加工。與成像鏡頭相比，光束處理器件具有更為復雜的形面。